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ion sources (en Inglés)
Huashun Zhang
(Autor)
·
Jianrong Zhang
(Ilustrado por)
·
Springer
· Tapa Blanda
ion sources (en Inglés) - Zhang, Jianrong ; Zhang, Huashun
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Reseña del libro "ion sources (en Inglés)"
This book is the most comprehensive book on ion sources as part of ion implantation technology, a newly established basic technology for microelectronic device processing. It appeals to physicists, engineers and advanced students active in ion implantation and ion beam physics.
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