Name: MEMS Capacitive Accelerometer (en Inglés)
Price: 53910.00 CLP
Availability: InStock
Author: Gomathi, T.; Aranganathan, A.; Megalan Leo, L.
ISBN: 9786208498054

portada MEMS Capacitive Accelerometer (en Inglés)

MEMS Capacitive Accelerometer (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

LAP Lambert Academic Publishing

Autor

Gomathi, T.; Aranganathan, A.; Megalan Leo, L.

Idioma

Inglés

N° páginas

Encuadernación

Tapa Blanda

Dimensiones

22.9 x 15.2 x 0.4 cm

ISBN13

9786208498054

MEMS Capacitive Accelerometer (en Inglés)

Gomathi, T.; Aranganathan, A.; Megalan Leo, L. (Autor) · LAP Lambert Academic Publishing · Tapa Blanda

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Reseña del libro "MEMS Capacitive Accelerometer (en Inglés)"

This project presents the design, simulation, and fabrication of a novel MEMS capacitive thin film pressure sensor for accurate and efficient pressure measurements. The proposed sensor utilizes a flexible diaphragm structure, fabricated using advanced thin film deposition techniques, to ensure high sensitivity and wide dynamic range. The capacitive sensing principle, coupled with advanced signal processing techniques, enables precise detection of pressure variations. The sensor's design incorporates a unique diaphragm geometry and electrode arrangement to optimize sensitivity and minimize cross-sensitivity to other environmental factors. Finite element analysis (FEA) simulations were conducted to validate the design and predict sensor performance under various operating conditions.