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portada Metal Impurities in Silicon- And Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact (en Inglés)
Formato
Libro Físico
Editorial
Idioma
Inglés
N° páginas
438
Encuadernación
Tapa Blanda
Dimensiones
23.4 x 15.6 x 2.4 cm
Peso
0.66 kg.
ISBN13
9783030067472

Metal Impurities in Silicon- And Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact (en Inglés)

Cor Claeys (Autor) · Eddy Simoen (Autor) · Springer · Tapa Blanda

Metal Impurities in Silicon- And Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact (en Inglés) - Claeys, Cor ; Simoen, Eddy

Libro Nuevo

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Reseña del libro "Metal Impurities in Silicon- And Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact (en Inglés)"

This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental properties, their characterization techniques and their impact on electrical devices' performance. Several control and possible gettering approaches are addressed. The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.

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