Name: Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren (en Alemán)
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Author: Thomas Grund
ISBN: 9783866444966

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portada Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren (en Alemán)

Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren (en Alemán)

Formato

Libro Físico

Editorial

Karlsruher Institut Fur Technologie

Autor

Thomas Grund

Idioma

Alemán

N° páginas

146

Encuadernación

Tapa Blanda

ISBN13

9783866444966

Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren (en Alemán)

Thomas Grund (Autor) · Karlsruher Institut Fur Technologie · Tapa Blanda

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Reseña del libro "Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren (en Alemán)"

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für grö erer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.